花篮片盒清洗机主要用于清洗附着在晶圆盒上的杂质，如切削油、磨粒、铁屑、尘埃、指纹等。其功能是提高产品的质量，防止这些杂质对晶圆盒造成污染，影响产品的性能。

该设备适用于当前所有型号的花篮和片盒的清洗与干燥系统，包括传输片盒、前端开口片盒（FOUP）等。

工作原理：

花篮片盒清洗机通过泵传输清洗液，利用不同喷嘴喷射清洗液，达到一定的清洗效果。

清洗液可以通过计量调整控制操作，软件设置可由触摸屏进行控制操作。

设备可能采用旋转喷淋技术，确保清洗液能够均匀地覆盖到花篮或片盒的每一个角落。

清洗完成后，设备会进行烘干处理，以确保花篮或片盒干燥。

主要特点：

自动化程度高：设备通常为全自动设计，可以自动完成上料、清洗、烘干和卸料等步骤。

适用范围广：适用于不同尺寸和规格的花篮与片盒，满足客户特殊需求。

高效清洗：采用清洗技术，如双流体旋转喷射清洗方式，实现超微精密清洗。

智能控制：配备高精度的传感器和控制系统，能够精确控制清洗和干燥的时间和温度，自动识别晶圆盒类型，自动调整清洗和干燥的参数。

节能环保：部分设备采用节能设计，降低能耗。

具体应用：

在半导体制造过程中，花篮片盒清洗机用于清洗存储和运输晶圆的标准化容器（如FOUP），确保其在制造和运输过程中不受到污染。

也可用于清洗其他需要高度洁净度的部件，如机械零部件、压缩机零件、照相机零件、轴承、五金零件、模具等。