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炉管清洗机|石英舟清洗

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苏州芯矽电子科技有限公司

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导体湿法设备

芯矽科技是一家专注半导体湿法设备制造公司,主要提供实验室研发级到全自动量产级槽式清洗机,单片清洗机,高纯化学品/研磨液供应回收系统及工程,公司核心产品12寸全自动晶圆化学镀设备,12寸全自动炉管/ Boat /石英清洗机已占据行业主导地位,已经成功取得长江存储,中芯国际,重庆华润,上海华虹,上海积塔,上海格科,广东粤芯,青岛芯恩,厦门士兰,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab产线订单,我们致力于为合作伙伴提供适合你的解决方案。


详细信息

炉管清洗机是半导体制造过程中核心设备,专门用于清洁石英炉管或石英舟。这些炉管在半导体器件的制造中扮演着重要角色,因此保持其清洁度对于确保产品质量至关重要。

产品特点:

高效清洗:炉管清洗机采用多种清洗技术,如DIW喷淋、超声波和抖动等,能够有效去除炉管内的颗粒物、杂质和其他残留物。

自动化控制:设备通常配备PLC控制系统,实现自动化操作和过程监控,提高生产效率并减少人为错误。

安全性:设有EMO急停装置、强弱电隔离以及电磁阀高于工作液面的设计,确保操作安全。

结构设计:立式或卧式设计,根据不同的生产需求和空间条件进行选择。

环保节能:在保证清洗效果的同时,注重环保和能源利用效率,减少化学品和水资源的消耗。

维护简便:设备设计考虑到易维护性,便于日常保养和故障排查。

定制化服务:可根据客户的具体需求提供定制化的清洗方案和设备配置。

应用领域:

半导体制造

太阳能电池片清洗

LED芯片清洗

PCB板上焊锡残留物、灰尘和其他污染物的清洗

注意事项:

在使用前应仔细阅读操作手册,了解设备的使用方法和安全指南。

定期对设备进行检查和维护,以确保其正常运行和延长使用寿命。

使用合适的清洁剂和工具,避免对炉管造成损害。

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