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水平炉管清洗机|苏州芯矽电子科技
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水平炉管清洗机是一种专门用于清洗石英炉管或石英舟的设备,广泛应用于半导体制造、光学镀膜和材料科学研究等领域。以下是关于水平炉管清洗机的详细介绍:
一、设备概述
水平炉管清洗机通过浸泡、旋转和喷淋等方式对炉管内壁进行高效清洗,以去除颗粒、有机物、金属离子等污染物。其结构主要由清洗槽、溢流排放槽、本体、工件支撑及旋转驱动机构、排风系统、给排水系统及电器部分构成。该设备具有自动化程度高、操作简便、清洗效果好等优点。
二、主要特点
自动化程度高:设备采用PLC控制,可实现自动运行,无需人工干预,大大降低了人力成本,同时提高了生产效率。
清洗效果好:通过浸泡、旋转和喷淋等多种方式相结合,能够去除炉管内壁的污染物,确保清洗效果。
操作简便:设备设计人性化,操作界面友好,易于上手。同时,设备还具备故障自诊断功能,方便用户及时排除故障。
安全可靠:设备采用多重安全保护措施,如漏电保护、过载保护等,确保操作过程的安全可靠性。
节能环保:在清洗过程中,设备采用节能技术,降低能耗,同时减少废水、废气等污染物的排放,符合绿色环保理念。
三、应用领域
水平炉管清洗机广泛应用于以下领域:
半导体制造:用于清洗半导体制造过程中使用的石英炉管,确保炉管的清洁度,提高芯片的良率和性能。
光学镀膜:在光学镀膜过程中,炉管的清洁度直接影响到镀膜的质量。水平炉管清洗机能够有效去除炉管内的污染物,保证镀膜质量。
材料科学研究:在材料科学研究中,需要对炉管进行严格的清洗,以确保实验的准确性和可靠性。水平炉管清洗机能够满足这一需求。
四、技术参数(示例)
电源:AC 380V 三相五线制
总功率:约25KW
外形尺寸:长宽高 600016001800mm(不含尾气塔)
清洗对象长度:2000mm
清洗对象外径范围:Ф10~Ф150mm
旋转速度:变频调速,0~30转/分可调
装料高度:≤700mm
排水口:DN25
进水口:DN20
节拍时间:<120S/篮(含液位等待时间)
单次处理量:1件Φ150以内,长度≤2000mm的石英炉管或2件石英舟(极大限额)