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深能级瞬态谱仪(DLTS)

臭氧中和器

共晶炉

回流焊炉

自动光学检查系统 (AOI)

点胶机

Plasma Process Cluster 多腔等离子体工艺系统

Plasma Etching Cluster 多腔等离子体刻蚀系统

TFS 200原子层沉积ALD

烤胶机

深硅刻蚀系统DEEP SI ETCH

离子束刻蚀系统IBE

反应性离子刻蚀系统RIE

RIE反应离子刻蚀机

晶圆甩干机

供药系统