三维形貌仪是一种用于测量三维表面形貌、轮廓和曲面特征的仪器。它可以通过激光或白光扫描技术获取被测物体表面的三维形貌信息，并生成三维模型或曲面图。三维形貌仪在工业制造、质量控制、产品设计、医疗等领域广泛应用，能够提供高精度的表面形貌数据，帮助用户进行产品设计、检测和分析。常见的三维形貌仪包括激光三维扫描仪、白光干涉仪等。
三维形貌仪通过集成一对单点，非接触式，纳米分辨率的彩色共聚焦传感器与高速，纳米编码的X/Y/Z协调运动，QuickPRO-CUBE™捕获同步的前，后和基准表面3D点云地形，用于托盘中的单镜头或微镜头的几何表征。形式不变运动架构允许测量旋转对称和更复杂的非轴对称或自由形状，最大测量直径为50mm(高达75mm外径)。根据镜头直径和3D点云采样密度的不同，每个镜头每个表面的总测量时间从30秒到240秒不等。
测量的几何参数包括：
· 相对于定义的集中度基准的前后曲面顶点偏移量
· 相对于定义的倾斜基准的前后表面楔角
· 前后总厚度变化（TTV）和中心厚度（CT）
· 前后表面凹陷/形状误差
三维形貌仪系统特性：
· 紧凑，台式机组与环境外壳
· 双单点、非接触、可见光、彩色共聚焦传感器，8kHz组合测量速率
· 震动不敏感和尺寸稳定的Invar计量框架
· 纳米编码X/Y/Z协调运动与磁性直线电机和交叉滚子轴承快速光栅或螺旋扫描超过50mm (X)， 50mm (Y)， 50mm (Z)
· 自定义心夹具，精密快速连接，快速装卸
· 用于单光学元件（最大外径75mm）和微透镜托盘的固定装置
· 用户友好的QuickPRO™仪器控制和数据采集软件，用于传感器优化，自动定心，数据捕获和协调运动测序
· CalcuSurf-3D™查看和分析软件，用于多表面3D点云数据
