QuickOCT-4D™ 将单点可见光光谱域光学相干断层扫描 （SD-OCT） 传感器与高速纳米编码的 X/Y/Z 运动控制平台相结合，可以在高达 66 kHz 的单次测量中捕获透明薄膜样品中每层的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度（高达 100μm）和轴向分辨率 （5nm） 针对半导体、生命科学和制药行业的多层透明薄膜、平面基板和功能层的测量进行了优化。

系统特点

· 紧凑的台式装置，带环境外壳

· 单点、非接触式、可见光、光谱域光学相干断层扫描 （SD-OCT） 传感器，测量速率高达 66 kHz

· 针对测量高反射材料上多层透明薄膜的形貌和厚度进行了优化

· 纳米编码的 X/Y/Z 运动，带有磁性直线电机和交叉滚子轴承，可在 100mm （X）、100mm （Y）、50mm （Z） 上快速光栅或螺旋扫描

· 可用于样品和托盘固定的真空吸盘

· 用户友好的 CalcuSurf-4D™ 配方生成、数据采集、表面形貌和多层薄膜分析软件允许优化测量采样密度，从而在最高通量下实现优良覆盖

SD-OCT技术概述