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工作原理
Colibrì系统*由微控制器控制。 利用该系统，可以简单地通过执行可由用户编辑的9个配方中的一个来执行处理。 使用高精度针阀，将受控的气流引入处理室。 将低频信号（50kHz）施加到腔室内的电极，这与气体分子相互作用从而触发等离子体。 产生的等离子体提供与待处理基板表面的*单层相互作用的反应离子物质。 通过对工艺参数（气体流量，信号强度，持续时间......）进行处理，可以改变生成的过程。
产品功能
▪台式等离子系统，简单通用
▪多可处理十种不同的可编辑配方
▪*结果的*性
▪长期可靠性
▪使用主要品牌组件
技术规格
尺寸 宽 x 长 x 高 450 x 370 x 180 mm
净重16 Kg （不含真空泵）
净空右，左，前 - 600mm，后 - 300mm
