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半自动划片机/切片机(6英寸)-半导体材料
适用于 6 英寸晶圆– 6 英寸硅晶圆
– 紧凑尺寸的占地面积(宽 x 深 = 590 x 880)
– 主轴 : 60,000 rpm (可选: 80,000rpm)
– 刀片 : 2“ (φ58mm) (可选 : 3” )
– 多处安装划片
– 最大主轴转速 : 60,000rpm
– 可选功能
○ BBD(刀片破损检测器)○ NCS(非接触式传感器)
半自动划片机/切片机(6英寸)-半导体材料,可划片的样品: 硅晶圆, PCB, QFN, PBGA, 陶瓷, 石英玻璃, LED,移动式蓝色玻璃滤光片、碳化硅等
技术指标:
型号 | SD110 | |
工件尺寸 | 6英寸(150毫米X 150毫米) | |
X | 切割范围 | 180毫米 |
最大速度 | 0.1 ~ 800 毫米/秒 | |
Y | 切割范围 | 180毫米 |
索引步进 | 0.0001 | |
索引定位精度 | 0.002/180 | |
Z1 | 最大行程 | 33.5毫米 |
移动分辨率 | 0.00005 | |
重复性精度 | 0.001 | |
Θ | 最大旋转角度 | 320 度 |
纺锤 | 输出 | 1.2千瓦 / 1.8千瓦 |
最大旋转 | 最大 60,000 rpm | |
可选项目 | NCS(非接触式传感器) | 基本 |
多切割 | 基本 | |
卡盘工作台 | 基本 | |
尺寸(宽 x 深 x 高) | 590毫米 x 880毫米 x 1680毫米 | |
重量 | 480 公斤 |