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北京市所在地
项目 | 描述 | |
探针单元 | 探针单元数量 | 6（zui多） |
驱动方法 | 压电式 | |
精调范围 | 5μm（X，Y轴） | |
粗调范围 | 5mm（X，Y轴） | |
探针头交换 | 气锁交换室 | |
样品台 | 位置检测 | 光学线性量规 |
样品尺寸 | 15mm x 15mm x 1mm 或更薄 | |
行程范围 | ±7.5 mm（X, Y轴） | |
样品交换 | 气锁样品交换仓 | |
探针镜台 | 行程范围 | 每个位置 ±5 mm |
行程位置 | 检测/样品交换/探针大致对中齐/探针交换 | |
电子光学系统 | 电子枪 | 冷场电子发射源 |
加速电压 | 0.5 kV - 5 kV（EBAC模式（*）：zui大30 kV） | |
图像位移 | ±100μm 或更长（2 kV，WD=15 mm） | |
EBAC放大器（*） | 电流放大器，差分放器 | |
图像显示 | 扫描电子显微镜/ EBAC（*）（单一/平行/覆盖），上面和侧面CCD摄像头 | |
真空系统 | 自动系统 | |
显示器 | 液晶显示器 | |
项目 | （W）x（D）x（H） | 重量 |
| 镜筒单元 | 1,190 x 1,377 x 1,605mm | 780kg |
| 显示单元 | 1,000 x 960 x 1,200mm | 205kg |
| EBAC单元（*） | 600 x 1,000 x 1,760mm | 150kg |
项目 | 描述 | |
| 室温 | 15~25 | |
| 湿度 | 60% RH（相对湿度）或更低 | |
| 电源 | 单相 AC100V±10%, 5kVA | |
| 接地 | D级（100 或更小） | |
（*）：选购件
