Auto SE一键式全自动快速椭偏仪

Auto SEAuto SE一键式全自动快速椭偏仪

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2024-01-23 19:01:23
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HORIBA科学仪器事业部

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一键式全自动快速椭偏仪仪器简介: 新型的全自动薄膜测量分析工具,工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。

详细介绍

  一键式全自动快速椭偏仪仪器简介
 
  新型的全自动薄膜测量分析工具,工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。
 
  一键式全自动快速椭偏仪技术参数
 
  ·光谱范围:450-1000 nm
 
  ·多种微光斑自动选择
 
  ·光斑可视技术,可观测任何样品表面
 
  ·CCD探测器
 
  ·自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm
 
  ·70度角入射
 
  主要特点
 
  ·*自动化设计,一键式操作,直接报告输出
 
  ·液晶调制技术,测量光路中无运动部件
 
  ·CCD探测系统,快速全谱输出
 
  ·多个微光斑尺寸选择,可视技术
 
  ·封闭式样品仓
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