预热器参数：

工作温度：400℃

zui高温度：1100℃

zui快升温速率：≤30℃/min

*升温速率：10℃/min

控温方式：智能化30段可编程控制

工作电压：AC220V

额定功率：800W

控温精度：±1℃

加热元件：电阻丝

加热区参数：

加热元件:电阻丝（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）
加热区长度：400mm（200+200mm）
恒温区长度: 200mm  (100+100mm)（±1℃）
工作温度：1100℃
zui高温度：1200℃
控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
控温精度:±1℃

zui大升降温速率：≤30℃/min

炉管：高纯度石英管Φ25\\50\\60\\80\\100\\150x2000mm  (管径可选)

标准配件：石英管1支，莫来石管堵2对，不锈钢法兰1套，氟胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支；

尺寸约：2000×600×1500 mm（长、宽、高）

备注：可选配单温区、双温区、三温区等加热区。

气路系统参数：

质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可选）

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

zui大压力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

显示：4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体             

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀：Φ6

连接头类型：双卡套不锈钢接头。

备注：可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

低真空系统参数：

国产油泵型号：BSV-10

抽速：10m³/h

极限真空度：5*10-1pa

电源：220v 50hz

电机功率：0.4kw  

进排气连接口：KF25

用油量：1.1L

电机转速：1440rpm

工作环境温度：5-40℃

噪音：≤56db

电阻真空计参数：

1.配用规管：ZJ-52T电阻规，

2.测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa，

3.测量路数： 1路

4.控制范围： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa，

5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载，

6.电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

7.功耗： 20W

射频源主要参数：

信号频率：13.56 MHz±0.005%

功率输出范围：0-500W

zui大反射功率:100W

射频输出接口：50 Ω, N-type, female

功率稳定性：≤5W

谐波分量：≤-50dbc

供电电压：单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ

整机效率：>=70%

功率因素：>=90%

冷却方式：强制风冷

备注：可根据腔体大小选择射频源功率。