PECVD系统_PECVD系统-安徽贝意克设备技术有限公司手机版

详细介绍

PECVD系统加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采用优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。

1、加热系统

最高温度	1200℃
使用温度	≤1100℃
炉膛有效尺寸	φ50/φ100mm（炉管直径可根据实际需要定制。）
炉膛材料	氧化铝、高温纤维制品
热电偶类型	K型热电偶
控温精度	±1℃
控温方式	30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7/10寸工控电脑内置PLC控制程序。
加热长度	230mm/440mm
恒温长度	100mm/200mm
加热原件	电阻丝
供电电源	单相，220V，50Hz

2、PE射频电源

功率输出范围	0W~150/500W
最大反射功率	100W
射频输出接口	50 Ω, N-type, female
功率稳定度	≤5W
谐波分量	≤-50dbc
供电电压	单相交流（187V-253V）频率50/60HZ
整机效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷却方式	强制风冷
功率输出范围	0W~150/500W
最大反射功率	100W

3、PECVD系统的三路质子流量控制系统

连接头类型	双卡套不锈钢接头
标准量程（N₂)	50sccm，100sccm、500sccm（可根据用户要求定制）
准确度	±1.5%F.S
线性	±1%F.S
重复精度	±0.2%F.S
响应时间	气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围	0.1～0.5 MPa
最大压力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
显示	4位数字显示
工作环境温度	5~45高纯气体
压力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀	Φ6
内外双抛不锈钢管	Φ6
连接头类型	双卡套不锈钢接头

4、低真空机组

空气相对湿度	≤85%
工作环境	5℃～40℃
工作电电压	220V±10% 50~60HZ
功率	1KW
抽气速率	10m³/h
极限真空	5X10^-1Pa
工作压力范围	1.01325X10⁵～1.33X10^-2Pa
耐压值	0.03MPa
容油量	1.1L
进气口口径	KF25
排气口口径	KF25
噪音	50dB
连接方式	采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连

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