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双炉膛滑动CVD控制系统主要特点：
1、 滑轨式快速升温炉是专为生长石墨烯研制的石墨烯生长专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。
2、 这款设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。
3、 此款设备提供两个独立滑动的温场，两温场独立控制，可在实验过程中推进或推离样品，提供两个位置的快升降温。
4、 真空和设备采用模块化设计，便于维护保养。
5、 采用触摸屏和工控电脑自动控制，参数设置和操作直观方便，参数自动记录保持。
Technical Parameters
双炉膛滑动CVD控制系统技术参数
Power 输入电源 | · Power rated: 16KW · 额定功率：16KW |
Voltage 电压 | · Voltage rated: AC220-380V 50/60HZ · 额定电压： AC220-380V 50/60HZ |
Working Temperature 工作温度 | · Max. Temperature: 1200 °C ( 1 hr) 最高温度：1200℃ (1小时) · Continuous working temperature: ≤1100℃ 持续工作温度：≤1100℃ · Max. Heating/colling Rate: ≤20°C /S 最大升/降温速率：≤20℃/秒 |
控温方式 | · PID automatic control and auto-tune function. 触摸屏控制加PLC控制和和模糊 PID自整定调节 · 30 programmable segments for precise thermal processing. 智能化30段可编程控制 · Built-in protection for the over-heated and broken thermocouple. 超温和断偶报警功能 |
Length of heating zone 加热区长度 | · 500+500mm |
Length of constant zone 恒温区长度 | · 200+200mm |
Heating Elements 加热元件 | · Resistance wire, Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo · 电阻丝（掺钼铁铬铝合金） |
Temperature Accuracy 控温精度 | +/- 1 °C |
Processing tube 炉管 | · Φ210*2000mm(optional) · Two tube blocks are included for blocking heat radiation generated from tube center， must be fully inserted into the furnace chamber before heating in the correct position(quartz or ceramic optional). 两个管堵阻挡管中心产生的热辐射，必须在加热前塞进炉膛的正确位置（石英货氧化铝管堵可选） |
Dimensions 尺寸 | · Furnace size : 2700*1500*1650mm(L*W*H without tube & flange) · 炉子尺寸：2700*1500*1650mm(长*宽*高 不含炉管和法兰)
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Net Weight 净重 | 580kg |
真空法兰 | · KF25 /16 quick clamp flange 两端为KF25/16快速卡箍法兰
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Vacuum Pressure 真空压力 | · 133torr can be achieved by mechanical pump 机械泵可达133torr（1pa） · 10^-6 torr can be reached by molecular pump 分子泵可达10^-6torr（10^-3pa） |
