BTF-1500C-CVD-小型浮动催化系统CVD系统_CVD系统-安徽贝意克设备技术有限公司手机版

详细介绍

（1）该款设备是小型浮动催化 CVD 系统，配备真空系统，可以低压条件下进行实验；设备配有双向推拉注射泵、氧分析仪、防爆控制柜、收集罐、密封腔室等组件。

（2）加热炉为三温区立式炉，上端法兰配有导液杆（可上下调节）和 1 个进气口；下端法兰配有安全保护泄压装置，底部配有收集罐，收集罐放置于小车上便于移动，真空系统方面由一个电阻规和一台 BSV30机械泵组成；尾部配有不锈钢过滤装置；加热炉炉体为密封结构，同时备有可通循环气体的进出口。

（3）防爆控制柜配有 15 寸触摸屏及按钮操作组件，下方配有氧分析仪、触摸防爆鼠标以及气路手阀组件；柜体左侧配有可切换鼓泡装置的组件；最顶部箱体配有双向推拉注射泵，供液体连续工作。

电压	380V
功率	13.5KW
加热区长度	250mm250mm250mm
工作温度	≤1500℃
推荐升温速率	1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min，1600℃以下≤2℃/min
热电偶	B型热电偶
控温方式	模糊PID控制和自动整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
加热元件	硅钼棒 12根（每个温区上下各4根）
加热炉尺寸	122512202350mm（长x宽x高）
控制柜尺寸	111010202710mm（长x宽x高）
设备总重	约780KG