PECVD-III-500A-D210-智能型PECVD系统_智能型-安徽贝意克设备技术有限公司手机版

详细介绍

该设备主要分为四大部分：多温区管式炉、射频组件、气路系统、及自动化控制软件集成系统。

1、开启式加热炉

加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配K型热电偶，6点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可电动开启方便客户更换维修反应管。

2、气路系统

可由质量流量计精确控制多路气体按不同流量进行混合配比，另外单独1路过鼓泡器后进入反应管内。

3、射频组件

1000W高性能射频辉光均匀，可使整个反应腔体都处于辉光产生区。

4、智能控制系统

采用智能PID模糊控制，30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。

最高温度	1200℃
持续工作温度	≤1100℃
升温速率	≤10℃/min
控温精度	±1℃
加热元件	电阻丝
热电偶	K型
控温方式	模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能，人机界面加PLC控制，15寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪和软件实现双控
加热总功率	≤15KW
加热区尺寸	300+300+300mm
射频功率	1000W
设备尺寸	25508501600mm
设备重量	约600KG