眼科光学镜片等离子活化器Plasma清洁仪
一、激活键能-交联作用:
PLASMA等离子体中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的键能在0~10eV,因此等离子体作用到样品表面后,可以使样品表面原有的化学键(C=C、C=O、C=N、Si-Si、Si-O等)产生断裂,PLASMA等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构,大大地激活了表面活性。
二、对材料表面轰击刻蚀-物理作用:
物理作用其反应机理主要是利用plasma等离子体里大量的离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子作纯物理的撞击,把材料表面的原子或附着在表面的原子打掉,不但清除了材料表面原有的污染物和杂质,还会产生刻蚀作用,将材料表面变“粗糙”,形成许多微细坑洼、沟壑,增大了材料表面的比表面积,提高材料表面的润湿性能。由于离子在压力较低时的平均自由基较长,得到能量的累积,因而在物理撞击时,离子的能量越高,越是有更多的能量作撞击,所以若要以物理作用为主时,就必须控制在较低的压力下进行反应,为了保证真空等离子处理仪腔体内较低的压力,需要持续通入空气或者其他惰性气体(氩气、氦气等),这样处理效果较好。物理作用下的等离子处理适用于玻璃、陶瓷、金属等材料.
三、形成新的官能团-化学作用:
化学作用其反应机理主要是利用眼科光学镜片等离子活化器Plasma清洁仪里的自由基与材料表面产生化学反应,频率和压力较高时,对自由基的产生较有利,所以若要以化学反应为主时,就必须配备较高的频率和较高的压力来进行反应。
在化学反应里常用的气体有氢气(H2)、氧气(O2)、甲烷(CF4)、氨气(NH3)等,这些气体在真空等离子处理仪腔内反应成高活性的自由基,会在材料表面发生复杂的化学反应,引入新的官能团,如羟基(-OH)、氨基(-NH2)、羧基(-COOH)、醛基(-CHO)等,这些官能团都是活性基团,能明显提高材料表面活性,起到活化改性的作用。化学作用下的等离子处理适用于塑料、高分子、油污、聚合物等材料。需要特别说明的是有一些材料处理既需要物理作用,也需要化学作用,例如聚二甲基硅氧烷(PDMS),氧化铟锡(ITO)、硅片、PET薄膜、二氧化硅(SiO2)、PTFE、二硫化钼等,这个时候应该选用等离子体激发频率是13.56MHz的真空等离子处理仪。
四、PLASMA处理的方向性-粉末或细小颗粒:
Plasma清洁仪配备清洗托盘,把样品放在托盘上,样品朝上的一面等离子处理效果明显,样品贴着托盘的一面处理效果不明显,原因是等离子体需要空间让其做高速运动,而样品贴着托盘的那一面,空间变小,不利于等离子体对样品表面进行处理,所以样品哪一面需要等离子处理,就把那一面朝上,如果两面都需要等离子处理,常规的做法是待样品的一面处理结束后,把样品取出翻转再进行另一面的等离子处理,但如果样品是粉末或者微小颗粒,这个方法就有局限性。
智能等离子活化器