英国爱德华涡轮分子泵STP-XA2703C VG250

概述

STP-XA2703C 涡轮泵为高真空到 2300 sccm 制程流的制程范围内提供高性能，并提高所有气体的吞吐量。 

此泵基于新的平台设计，提供各种功能以改善热管理，从而增强在严苛制程中的性能，提高大制程流能力，并减少腐蚀和沉积的影响。 

其出色的性能既适用于温和的应用环境，也适用于严苛的环境，例如半导体刻蚀、注入、光刻和 LCD 制程。英国爱德华涡轮分子真空泵STP-XA2703C维修

应用

• 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
• 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
• 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 溅射
• 离子注入源，射束线泵送端点站
• MBE
• 扩散
• 光致抗蚀剂脱模
• 晶体/晶膜生长
• 晶片检查
• 负载锁真空腔
• 科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
• 高能物理：射束线、加速器
• 放射线应用：融合系统、回旋英国爱德华涡轮分子真空泵STP-XA2703C维修

  功能和优势

  良好的转子设计  

• 增强的 H2、N2 和 Ar 性能

• 改进了在高真空到 2300 sccm 制程压力范围内的性能

• 免维护

• 5 轴磁悬浮系统  

• 无污染

• 低振动

• 创新性转矩管理  

• 获得转矩减少机械装置

• 优化的温度管理系统  

• 高温 TMS 能力

• 低沉积

• 内置冷却机械装置

• 更高的气体吞吐量（加热和未加热）

• 延长寿命

• 可用于严苛制程

• 认证  

• 符合 SEMI®，具有 CE 标记，列于 UL 中

  技术数据

  入口法兰	VG250
  抽速
  N2	2650 ls-1
  H2	2050 ls-1
  压缩比
  N2	>108
  H2	>6 x 103
  极限压力	10-7 Pa
  大允许前级压力	266 Pa
  大允许气体流量
  N2（水冷却）	2300 sccm
  	(3.8 Pam3s-1)
  Ar（水冷却）	1900 sccm
  	(3.2 Pam3s-1)
  额定速度	27500 rpm
  启动时间	8 min
  固定位置	任何方向
  水冷却流量	3 lmin-1
  水冷却温度	5-25 °C (41-77 °F)
  压力	0.3 MPa
  推荐的吹扫气体流量	50 sccm (8.4 x 10-2 Pam3s-1)
  输入电压	200 至 240 V 交流(± 10)
  功耗	1.5 kVA
  泵重量	75 kg (165 lb)
  控制器重量	12 kg (26.4 lb)

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一、进口真空泵维修：
1、BOC EDWARDS(爱德华)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（岩田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（汉钟）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、进口真空泵配件销售：
1、类型：真空泵维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、进口真空油销售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。