STPH301C STPH451C爱德华STPH301C STPH451C涡轮分子真空泵
Edwards/英国爱德华 品牌
其他厂商性质
苏州市所在地
Edwards 的高性能 STPH301C 涡轮分子泵是为严苛的半导体应用而设计的。这种泵经过实践检验的可靠性和性能可以实现大的制程灵活性。STPH301C 已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。爱德华STPH301C STPH451C涡轮分子真空泵
良好的转子技术
更高的气体吞吐量
大的制程灵活性
无油
低振动
高度可靠
免维护
可用于严苛制程
使用寿命延长
良好的控制器设计
自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动
无电池运行
紧凑型设计
占地面积小
半机架控制器
5 轴磁悬浮系统
无污染
少维护 爱德华STPH301C STPH451C涡轮分子真空泵
任意方向操作
入口法兰 | ISO100K |
出口 | KF40 |
吹扫口 | KF10 |
水冷却接头 | PT1/4 |
抽速 | |
N2 | 300 ls-1 |
H2 | 200 ls-1 |
压缩比 | |
N2 | >108 |
H2 | 103 |
加热时的极限压力 | 10-7 Pa |
(10-9 Torr) | |
大连续出口压力 | 660 Pa |
(5 Torr) | |
大氮气吞吐量 | 2500 sccm |
额定速度 | 48000 rpm |
启动时间 | 4 分钟 |
高入口法兰温度 | 120 °C |
输入电压 | 100 至 120 (± 10) V 交流或 |
200 至 240 (± 10) V 交流 | |
功耗 | 0.6 kVA |
泵重量 | 15 kg |
控制器重量 | 9 kg |
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一、进口真空泵维修:
1、BOC EDWARDS(爱德华):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA(岩田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL(汉钟)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652
二、进口真空泵配件销售:
1、类型:真空泵维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、品牌:BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、进口真空油销售:
品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。