STP-XA3203C STP-XA4503C英国爱德华涡轮分子真空泵STP-XA3203C维修
Edwards/英国爱德华 品牌
其他厂商性质
苏州市所在地
STP-XA3203C 涡轮泵为高真空到 2300 sccm 制程流的制程范围内提供高性能，并提高所有气体的吞吐量。
此泵基于新的平台设计，提供各种功能以改善热管理，从而增强在严苛制程中的性能，提高大制程流能力，并减少腐蚀和沉积的影响。
其出色的性能既适用于温和的应用环境，也适用于严苛的环境，例如半导体刻蚀、注入、光刻和 LCD 制程。英国爱德华涡轮分子真空泵STP-XA3203C维修
良好的转子设计
增强的 H2、N2 和 Ar 性能
改进了在高真空到 2300 sccm 制程压力范围内的性能
免维护
5 轴磁悬浮系统
无污染
低振动
创新性转矩管理
获得转矩减少机械装置
优化的温度管理系统
高温 TMS 能力
低沉积
内置冷却机械装置
更高的气体吞吐量（加热和未加热）
延长寿命
可用于严苛制程英国爱德华涡轮分子真空泵STP-XA3203C维修
认证
符合 SEMI®，具有 CE 标记，列于 UL 中
| 入口法兰 | ISO320F |
| 抽速 | |
| N2 | 3200 ls-1 |
| H2 | 2300 ls-1 |
| 压缩比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | >6 x 103 |
| 极限压力 | 10-7 Pa |
| 大允许前级压力 | 266 Pa |
| 大允许气体流量 | |
| N2（水冷却） | 2300 sccm |
| (3.8 Pam3s-1) | |
| Ar（水冷却） | 1900 sccm |
| (3.2 Pam3s-1) | |
| 额定速度 | 27500 rpm |
| 启动时间 | 8 min |
| 固定位置 | 任何方向 |
| 水冷却 | |
| 流量 | 3 lmin-1 |
| 温度 | 5-25 °C (41-77 °F) |
| 压力 | 0.3 MPa |
| 推荐的吹扫气体流量 | 50 sccm |
| (8.4 x 10-2 Pam3s-1) | |
| 输入电压 | 200 至 240 (± 10) V 交流 |
| 功耗 | 1.5 kVA |
| 泵重量 | 80 kg (176 lb) |
| 控制器重量 | 12 kg (26.4 lb) |
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一、进口真空泵维修：
1、BOC EDWARDS(爱德华)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（岩田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（汉钟）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652
二、进口真空泵配件销售：
1、类型：真空泵维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、进口真空油销售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。
