STPA1603C STPA2203C爱德华STPA1603C STPA2203C涡轮分子真空泵
Edwards/英国爱德华 品牌
其他厂商性质
苏州市所在地
小巧而强大的 Edwards STPA1603C 涡轮分子泵采用 Edwards 良好的转子技术进行设计。它提供*的吞吐量、高的可靠性和的性能,满足新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,而其良好的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C 已经在的 200 mm 刻蚀工具上得到了证明,也能够满足新一代 300 mm 氧化物腐蚀制程的需要。爱德华STPA1603C STPA2203C涡轮分子真空泵
良好的转子设计
改进的性能
更高的气体吞吐量
高度可靠
免维护
可用于严苛制程
5 轴磁悬浮系统
无污染
低振动
防腐蚀
可用于严苛制程
使用寿命延长
紧凑型设计
占地面积小
半机架控制器
良好的控制器设计
自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动
无电池运行
入口法兰 | ISO200F |
出口 | KF40 |
吹扫口 | KF16 |
水冷却接头 | PT1/4 |
抽速 | |
N2 | 1600 ls-1 |
H2 | 1200 ls-1 |
压缩比 | |
N2 | >108 |
H2 | >7 x 103 |
加热时的极限压力 | 10-7 Pa |
大允许前级压力 | 266 Pa |
(2 Torr) | |
大氮气吞吐量 | 2500 sccm |
额定速度 | 36500 rpm |
启动时间 | 7 分钟 |
固定位置 | 任意 |
水冷却流量 | 2 lmin-1 |
温度 | 5-25 °C |
压力 | 0.3 MPa |
推荐的吹扫气体流量 | 20 sccm |
输入电压 | 200 至 240 (± 10) V 交流 |
功耗 | 0.85 kVA |
泵重量 | 35 kg |
控制器重量 | 9 kg |
苏州昆山太仓无锡上海张家港吴江常熟镇江爱德华STPA2203C、STPA1603C 涡轮分子真空泵
常州扬州泰州南通南京启东海门如皋海门海安爱德华STPA2203C、STPA1603C 涡轮分子真空泵
如东宿迁徐州合肥芜湖杭州湖州温州台州衢州爱德华STPA2203C、STPA1603C 涡轮分子真空泵
绍兴金华宁波余姚福州厦门泉州深圳广州珠海爱德华STPA2203C、STPA1603C 涡轮分子真空泵
广州惠州通州桂林南宁南昌赣州武汉成都重庆爱德华STPA2203C、STPA1603C 涡轮分子真空泵
荆州太原兰州乌鲁木齐石家庄天津长春吉林爱德华STPA2203C、STPA1603C 涡轮分子真空泵
济南青岛威海德州连云港昆明九江安庆爱德华STPA2203C、STPA1603C 涡轮分子真空泵
一、进口真空泵维修:
1、BOC EDWARDS(爱德华):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA(岩田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL(汉钟)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652
二、进口真空泵配件销售:
1、类型:真空泵维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、品牌:BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、进口真空油销售:
品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。