RTP快速退火炉

MILA-5000SeriesRTP快速退火炉

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2021-11-27 17:36:45
3872
属性:
应用领域:综合;
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综合
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凯戈纳斯仪器商贸(上海)有限公司

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产品简介

RTP快速退火炉已经成为半导体、铁电体以及镀膜行业的重要退火技术。但是目前,只有大型的、昂贵的生产设备才能完成快速热处理,这大大降低了研发工作的效率(尤其是小的样品)。为了满足市场的需求,ADVANCE RIKO研发出MILA-5000系列的小型快速退火炉。此系列的设备包含红外金面反射炉和高精度的温度控制器。根据需求选配相应的泵和气体接口,MILA能提供与大型RTP设备相同的热处理性能。

详细介绍

RTP快速退火炉特点:

快速加热及冷却能力;

可在任意气氛中使用;

实时观测试样;

精确的温度控制;

RTP快速退火炉技术参数:

型号

MILA-5000Series

温度范围:

室温~1200℃(zui高)

zui大加热功率:

50℃/s(50~1200℃)真空

45℃/s(50~1200℃)氮气氛围

温度均匀性:

±2.0℃(ΔT=4℃)1200℃真空

±4.5℃(ΔT=9℃)1200℃氮气氛围

加热气氛:

大气、真空、惰性气氛环境下

试样尺寸:

MAX:50 square or φ 50 x T5 (mm)

程序模组:

温度VS时间设定、Step数256、Program数32(zui大);

PID+Fuzzy控制、自动微调、USB通讯、自动/手动切换;

凯戈纳斯仪器商贸(上海)有限公司是由瑞典Hot Disk有限公司注资成立的,是一家朝气蓬勃的仪器商贸公司,在市场上享有良好的声誉。公司成立近二十年来,致力于成为热物性设备的系统供应商,主要业务是在中国和一些邻国开发、制造并销售瑞典Hot Disk品牌热常数分析仪。

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