热膨胀仪主要分为光干涉法膨胀仪和机械热膨胀仪，光干涉法为光学非接触、绝对测量、测量准确度高。但造价昂贵、仪器结构及操作都很复杂。机械式法热膨胀仪的优点是，使用容易、结构简单适用各种形状的样品等。缺点是，机械式式热膨胀仪受样品架、检测杆等夹杂物的影响，因此无法避免这些夹杂物对校准用标准样品的绝对精度和误差的影响。

Super LIX-R非接触法激光热膨胀系统概述

Super LIX-R非接触法激光热膨胀仪系统是采用线性偏转氦氖激光器的双光路型迈克尔逊干涉仪的高灵敏度非接触式热膨胀仪。这种高精度膨胀仪是基于激光波长对与样品两端接触的反射面之间的位移进行绝对热膨胀测量。

该测定方法符合JIS(JIS R3251-1995)的低膨胀玻璃的热膨胀系数测定方法，适合于用于热膨胀系数低至5ppb/℃（即 5 x 10^-9/K）级别零膨胀材料的测量，通过对实际样品测试结果分析：在30℃时三次测得的  热膨胀系数分别为:5 x 10^-9/K,4 x 10^-9/K,4 x 10^-9/K，在10℃，20℃，30℃，40℃，50℃的重复性均优于5 x 10^-9/K。（详见P36-41）

特点：

1）通过在系统内部加入抗振机构，可以防止振动干扰的影响，可以在稳定使用的环境下进行一般分析电子天平（分辨率0.01mg）的测量。

2）根据激光波长（632.8nm）测量样品的位移。光学元件的优化消除了杂散光，提高了边缘信号的信噪比。特殊位移校准无需测量或操作。

3）图像传感器检测干涉条纹，对图像进行处理，计算膨胀率。

4) 通过用绝缘结构的低温恒温器控制样品和样品周围区域的温度，可以将温度控制在每分钟 0.01°C。

5) 自动样品设置夹具可实现稳定的样品设置，无需操作员经过特殊培训。

夹具的样品设置是手动的。

Super LIX-R 参数：

温度测量范围：0~50℃ （采用高精度恒温循环系统）

热膨胀检测系统：迈克尔逊型激光干涉仪

光路：双光路

样品尺寸：Φ5mm 或Φ5±0.5mm x 长度12-20mm

      标准样品尺寸：φ5mm x 长度20mm

 两端应进行 SR（球形）处理，以免顶端变得不均匀。

    表面平均粗糙度：平均粗糙度优于0.8a

测量精度：CTE值 5x10^-9/K 或更低（基于标准尺寸的低膨胀材料）

重复性：CTE值 5x10^-9/K 或更低（基于标准尺寸的低膨胀材料）

分辨率：＜0.2nm

显示：图形强度

激光器：激光类型：He-Ne 气体激光器（连续振荡）

     功率：5mW  (IEC 60825-1 class 3B)

     光源波长：632.8nm

热电偶：PT-100 铂热电偶 JIS C 1604-1997

测试气氛：低压He（100Pa）

升降温速率：0.01℃/min ~ 1.5℃/min

                        高精度测试推荐使用0.1℃/min

温度显示分辨率：0.001℃

测温精度：精度符合 JIS-Class A (±0.15°C at 0 °C)