NSC-3000(A)全自动磁控溅射系统

NSC-3000(A)全自动磁控溅射系统

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-13 11:41:34
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产地类别:进口;应用领域:医疗卫生,化工,生物产业,电子,制药;
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产品属性
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进口
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医疗卫生,化工,生物产业,电子,制药
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那诺中国有限公司

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产品简介

NSC-3000(A)全自动磁控溅射系统:台式自动系统,带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,可达6“旋转平台,支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。

详细介绍

磁控溅射技术

NSC-3000(A)全自动磁控溅射系统概述:带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,可达6"旋转平台,支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。

NSC-3000(A)带有14”立方形铝质腔体,32”的磁控管,DC直流和RF射频电源。 在选配方面,我们提供不锈钢腔体,260 l/s涡轮分子泵,额外的磁控管和衬底加热功能。

NSC-3000(A)全自动磁控溅射系统产品特点:

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