F54-XYT-300 薄膜厚度测量仪

自动薄膜厚度测绘系统

借助F54-XYT-300的光谱反射系统，可以快速轻松地测量200 x 200mm样品的薄膜厚度电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供快速的厚度测量，达到每秒两点。您可以从数十种预定义的极性，矩形或线性测量坐标图案中选择，也可以创建自己编辑的不受限制的测量点数量。此桌面系统只需几分钟即可完成设置，任何具有基本计算机技能的人都可以使用。

图案表面的显微测量

F54-XYT-300具有集成的显微镜和实时摄像头，可以精确监控膜厚测量点。小尺寸的测量光斑允许测量有图案的样品，并且可以改善在较粗糙的材料上的测量性能。

FILMAPPER软件-测量自动化测绘模式生成器

内置的测绘图案生成器使您可以轻松的生成测量样品相关区域所需的坐标图案，从而节省了数据采集时间。以下是您可以调整的自定义测绘属性的一些参数:

• 样品形状:圆形或矩形

• 径向，矩形或线性图案

• 中心和边缘去除

• 点密度