洁净室检测内容

洁净室检测-光照度测试

一、测前准备  

1.洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成 
2.测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。  3.洁净室环境需清洁完成 
二、测试目的 
此检测动作在于确认无尘室照明系统是否有达到设计要求。 
三、测试仪器
照度仪 
四、测试步骤 
1.无尘室光源至少使用100小时以上，测试前需点亮2小时以上。  
2.确认测试点及配置图编号。  
3.将照度仪固定置于距离地板上1.2m高度，待数值稳定后量测10秒记录

温湿度检测

一、说明 

温湿度测量的目的是确认室内之温湿度控制在范围之内，温湿度对微粒控制没有甚么影响，因此温湿度测试属于第三级测试（ Level 3 ）。但是因无尘室多半同时也是环控室，所以温湿度常常就一并测量了。温湿度测量又分为一般测量和进阶测量（ General Tests and Comprehensive Tests ），一般测量只是测量温湿度在测量点的实时数据（单一测数据），适用在对温湿度要求不高的场所。进阶测量就要纪录在测量点一段长时间的温湿度，目的是要观察温湿度随时间的变化情形，以确认湿度在控制之下。进阶测量适用在对温湿度要求比较高的场所。

二、测试仪器：

常见的温湿度仪器是电子式温度计与镜面冷凝光学式湿度计，一般测量和进阶测量使用仪器的精度相同，温度测量范围是 0-100 ℃ ，准确度是 ±0.2 ℃ 。湿度测量范围是 10 ﹪ 到 95 ﹪ ，准确度是 ±2 ﹪ 。一般测量要求温度之显示值可显示 0.1 ℃ 的变化，湿度的显示值可显示 1 ﹪ 的变化。进阶测量则要求温度之显示值可显示 0.05 ℃ 的变化，湿的显示值可显示 0.1 ﹪ 的变化。检测仪器需校正合格且仍在有效期限内者，于测试前或交附报告时均须检附合格之校正文件。 

三、测试程序

1.确认空调系统已经安装完成，并已完成测试、调整、平衡。空调系统测试、调整、平衡可以平衡风量和水量，使其达到设计要求，为温湿控制提供正确的运转环境，因此系统要先平衡才能测试。  

2.依据平面图，列出各种温湿度要求区域，并使系统达到正常运转状况，系统应在温湿度自动控制之下，至少运转 24 小时以上。  

3.测试点数为每个房间至少量一点，并且每个温湿度控制区至少量一点，例如每个 Dry Coil 的控制范围要量一点，测量高度为 ( 高架 ) 地板上 1.00m 。  

4.将温湿度传感器放置同一位置，待稳定后开始记录。

静电测试内容：

• ◆泄漏电阻
• ◆系统接地电阻
• ◆体积电阻
• ◆表面电阻
• ◆系统电阻

依据规范：

• ◆GB50591-2010    《洁净室施工及验收规范》     
• ◆GB/T25915-2010  《洁净室及相关受控环境》
• ◆ISO 14644_2006   Cleanrooms and associated controlled environments

超纯水测试

大湾在纯水方面提供的测试服务范围为：

•  ◆TOC(总有机碳)
•  ◆电阻率 
•  ◆溶解氧(DO)
•  ◆细菌测试
•  ◆溶解SiO2
•  ◆颗粒测试 （洁净度测试）

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