安捷伦二手ICP-ms:分析特点

可快速同时检测周期表上几乎所有元素

低检出限(低至ppq级)

分析效益/成本比

线性动态范围宽—可直接检测从ppq到数百ppm浓度

谱线简单、干扰小，准确度和精密度好

需要样品量很低(ul至ml)，分析速度很快(1——3分钟/样品)

检测模式灵活多样

半导体工业常用材料中超痕量污染物分析：

固体：Si;GaAa单晶切片;石英、碳化硅等炉材料;高纯金属电极等

Agilent ICP-MS可直接分析有机样品：

Agilent ICP-MS的高效能、高功率屏蔽矩冷等离子体技术已被用于测定一系列有机样品的ppt级痕量污染元素。

对其中一些样品，其他方法无法获到满意的结果，高功率屏蔽矩冷等离子体技术是种分析方法。

强碱性清洗剂——四甲基氢氧化氨(TMAH)等

高基体样品——光刻胶、液晶、BPSG、PSG等挥发性*的清洗剂

安捷伦二手ICP-ms进样系统

标配的进样系统一般是一个雾化器和雾室，蠕动泵作为进样动力，这两个厂家的进样系统也都有自己的设计。

PE ELAN DRC-e标配的进样系统是强耐腐蚀的正交雾化器和Ryton雾室，优点是耐高浓度的HF、碱、王水和有机溶剂，缺点是雾化效率低，灵敏度相对要低。

Agilent 7500标配为Peltier冷却的石英微同心雾化器和石英筒形Scott雾室，并且在进样器上增加了HMI设计，这些进样器的优点是雾化效率高，冷却雾化能降低多原子干扰离子的生成，减少取样量的同时满足普通进样的耐高盐，缺点是不耐氢fu酸。

进样系统都可拆换，两家公司也配备了多种类型的进样装置工客户更换。

 离子源：

ICP的装置主要是由中心喷射管，矩管和射频发生器(RF线圈)组成。PE ELAN DRC-e和Agilent 7500的中心喷射管和矩管都可根据用户的实际需要更换为耐HF酸的或不耐HF酸的。至于RF线圈，PE采用 40.68 MHz激发频率，Agilent是固态数控27.12 MHz激发频率。

这里要提一下，PE的炬管拆装都比较麻烦，XY 轴还是旋钮手动调节，而Agilent的设计是接头插拔，炬管拆装比较容易，炬管的位置都可以通过马达自动定位。

接口：

样品通过进样系统送入等离子体，然后以雾化的电离状态到了接口部分，也就是锥。这两款都是双锥设计(采样锥和截取锥)，标配的都是镍锥。两家公司也都能提供铂锥，铂锥比镍锥更耐腐蚀，更经用，本底更小，当然更贵。两家公司锥的不同是锥孔大小的设计。PE的采样锥和截取锥的孔径分别为1.1 mm和0.9 mm，而Agilent的则分别为1.0 mm和0.4 mm。我们可以看出两家的采样锥的孔径是差不多的，截取锥则大不相同。当然，锥大小各有利弊，但我倾向于锥孔小显然容易盐分沉积，沉积后对锥孔附近的进样环境、二次电离等都有较大的影响。