日本电子二手扫描电镜(一) 主要性能

二次电子图像分辨率 

3.0nm @ 30KV   WD 8mm

8.0nm @ 3KV    WD 6mm

15.0nm  @ 1KV  WD 6mm

背散射电子模式分辨率

4.0nm@30KV

放大倍数                                                            

×5~×300,000（底片倍率）

×14~×839,724（显示器倍率）

探测器

二次电子探测器

半导体型背散射电子探测器(技术)

图像模式

二次电子图像

REF像

成份像 (背散射电子图像)

形貌像 (背散射电子图像)

立体像 (背散射电子图像)

实时图像显示

双实时图像同时显示, 分割实时图像显示

加速电压

0.5KV ~ 30KV

探针束流

1pA ~ 0.3uA

(二) 电子光学系统

灯丝                                   

工厂预对中钨灯丝

电子枪偏压

无缝式自给偏压, 连续调整

电子枪合轴

自动合轴

灯丝加热

自动加热

聚光透镜                               

变焦聚光透镜系统 – 技术

物镜

超级锥形物镜

物镜光阑

1孔固定，可在X和Y方向微调

聚焦

自动/手动聚焦

像散

自动/手动消像散

像散存储器                             

标准配置，自动/手动补偿像散

图像移动                                

X-Y , ±50um

(三) 样品台

样品台类型

全对中样品台

Traverse

行程                                   

X     :  80mm;

Y     :  40mm;

Z     :  5 ~ 48mm;

倾斜 T:  -10 ~ +90°

旋转 R:  360°连续endless

Maximum Specimen Size

最大样品尺寸

150mm diameter & 48mm height specimen can be inserted

可装直径150mm高度为48mm的样品

Maximum Size of Observation

最大观察视野

127mm diameter

直径127mm

Image Display

(四) 图形显示

显示像素

640×480,1280×960,2560×1920,5120×

图像处理

平均值, 灰度修正, 反差增强, 伪彩, 二及四分屏, 2及4倍数码变焦

文件存储格式

BMP, TIFF, JPEG

Operation System

(五) 操作系统

PC

计算机

OS    :  Windows 10 (英语版)

触摸屏式台式电脑

(六) 测量功能

平行线间距测量

垂直, 水平, 对角

2点之间距离测量

任意2点间距离

圆的测量

直径

2个圆中心间距离(触摸屏操作下不支持此功能)

角度测量

角度

面积测量

圆和多角形

计数

颗粒计数

(七) 真空系统

真空度

高真空模式 1×10^-4Pa

抽真空时间

3 min

真空泵系统                             

一个分子泵, 一个机械泵

(七) 安全装置

断电,断水,泄压,漏电保护

(八) 自动功能

自动电子枪控制,自动聚焦,自动消像散,自动反差和亮度

(九) 扩展接口

EDS 能谱仪、Chamber Scope红外相机、Probe Current Detector束流监视器

(十)能谱仪主要性能

探测器

电制冷方式Box SDD 探测器 – 不用液氮

探头有效扫描面积

25 mm²

探测器移动

Fixed

固定

分辨率

130eV or less (ICR 5,000 cps or less)

元素分析范围

Be(4) to U(92)

铍 至 铀

窗口

抗大气压的超薄窗

取出角

35°（WD：10mm）

制冷方法

Peltier cooling

标准搭载功能

 定性分析

 定量分析

活区面分析

点分析

 束流追踪