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二手JEOL场发射电镜7001F日本电子热场发射扫描电镜JSM-7001F(Thermal Field Emission SEM)是能够满足与高分辨率和易用性同样的分析应用需求的理想平台。JSM-7001F具有大型、5轴、全对中马达驱动自动化样品台,还有单动作样品更换气锁、它的小束口压直径,即使在大电流和低电压时,也具有适用于EDS、WDS、EBSP和CL的理想结构的扩充性。样品室可处理直径最大为200mm的样品。
计算机接口是新的Windows® XP系统,操作简单,具有快速简单地切换操作模式的功能键。最多可同时查看包括混合信号的四幅实时图像,单次扫描就可以记录并马上存储全部的四幅图像。
JSM-7001F扫描电子显微镜还支持与EDS、WDS、电子束光刻系统和图像数据库的整体化。标准的样品台自动化由计算机控制5轴:X、Y、Z、倾斜和对中自转。
低真空操作
JSM-7001FLV场发射扫描电子显微镜具有高分辨率性能,可以在中至高电压千伏(kV)和更高的束流下对非导电样品进行成像。因此无需在样品上镀金属膜或碳膜以供导电,即可施用EDS、背散射成像、EBSD等分析技术。这在以下情况中特别有用: 样品不能修改时,尚需后续测试时,或尚需返回产品线时。
低真空模式规格
样品室压力:最大50 Pa
分辨率:3.0nm(30kV)(BEI)
枪室压力:5 x 10-7 Pa或更小
采用的气体:干燥氮气
二手JEOL场发射电镜7001F仪器参数:
二次电子分辨率: 1.4nm (1 kV,减速模式)
1.0nm (15kV)
电子光学:
电子枪: 冷场发射电子源
加速电压: 0.5~30kV(0.1KV/步,可变)
放大倍率: x 20~ x 800,000
物镜光阑: 4孔,真空外选择和调校(内置加热器)
检测器: 二次电子检测器 (高位/低位)
背散射电子检测器(可选)
EDX(可选)
透射电子检测器(可选)
法拉第杯(可选)
阴极荧光检测器(可选)
样品台: l型:
X: 0~50mm Y: 0~50mm
Z:1.5~30mm T: -5~+70°R:360°
驱动:手动(可选3轴驱动)
ll型:
X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm
Z: 1.5 ~40 mm T: -5 ~+70°
R: 360°驱动:PC机控制5轴驱动
图像显示:
操作/显示: PC/AT 兼容,
操作系统: WindowsTM 2000
18.1" 平面显示器
扫描模式: 标准,Split/dual mag./linescan, position
set, spot, AAF, SAA, oblique
画面储存: 640 x 480, 1,280 x 960,
2,560 x 1,920,5,120 x 3,840
图像编辑: 内置图像处理软件和图像编辑软件
图像文件格式: BMP, TIFF, JPEG
扫描速度: TV, 慢速 (0.5 ~ 40 s/帧) 用于观察
慢速 (40 ~ 320 s/帧) 用于记录
成像过程: 自动调节亮度和对比度
光栅旋转,自动聚焦,自动像散校正,
平均,帧积分,伪彩色显示
自动数据记录: 胶卷号,加速电压,微米标尺,放大
倍率,日期,时间,工作距离
电子图像移动: ±12u( W.D. = 8 mm)
真空系统: *气阀自动调节
离子泵 3 台
涡轮分子泵(磁浮型) 1 台
机械泵 1 台