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二手日立场发射电镜:日立新推出的高分辨场发射扫描电镜,1kv的分辨率提升到1.3nm,并在探测器设计上有新的突破,配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器,可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号,实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测;结合选配的STEM探测器,还可以实现明场像和暗场像的观测;此外在半导体应用中,还可以安装EBIC探测器,采集感生电流图像,极大丰富了信号的采集,对样品的信息的收集达到了新的高度。
扫描电子显微镜仪器特点:
1. 新型物镜采用的ExB设计。使用单检测器和超级ExB可以分别收集和分离单纯二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。
2. 1KV低加速电压,不使用减速功能,可保证有2.0nm的分辨率。
3. 两种样品台可选:I型50mm x 50mm标准样品台或Ⅱ型110mm x 110mm大样品台。
4. 包括磁悬浮涡轮分子泵在内的*进的真空系统。
5. 光阑自清洁技术,避免了光阑的污染。
二手日立场发射电镜:仪器参数:
二次电子分辨率: 1.4nm (1 kV,减速模式)
1.0nm (15kV)
电子光学:
电子枪: 冷场发射电子源
加速电压: 0.5~30kV(0.1KV/步,可变)
放大倍率: x 20~ x 800,000
物镜光阑: 4孔,真空外选择和调校(内置加热器)
检测器: 二次电子检测器 (高位/低位)
背散射电子检测器(可选)
EDX(可选)
透射电子检测器(可选)
法拉第杯(可选)
阴极荧光检测器(可选)
样品台: l型:
X: 0~50mm Y: 0~50mm
Z:1.5~30mm T: -5~+70°R:360°
驱动:手动(可选3轴驱动)
ll型:
X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm
Z: 1.5 ~40 mm T: -5 ~+70°
R: 360°驱动:PC机控制5轴驱动
图像显示:
操作/显示: PC/AT 兼容,
操作系统: WindowsTM 2000
18.1" 平面显示器
扫描模式: 标准,Split/dual mag./linescan, position
set, spot, AAF, SAA, oblique
画面储存: 640 x 480, 1,280 x 960,
2,560 x 1,920,5,120 x 3,840