美国康宁Corning Tropel Flatmaster MSP-300 平面度仪也称为平面度测量仪、平整度仪、平坦度仪等，为精密部件的制造商提供了业界*先的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的 数据。Flatmaster MSP-300平面度仪能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行精密测量。FLATMASTER 300平面度测量仪可以实现自动、快速、准确、稳定的测量，超过20年的工业应用，几百台的装机量。

       美国FlatMaster MSP-300平面度测量系统/平面度仪/平整度仪/平坦度仪基于160  多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和应用光学等材料科学和制程工艺领域的知识,  美国康宁CORNING平面度测量仪品牌创造并生产出了众多被用于高科技消费电子、移动排放控制、通讯和平板显示等科 学领域产品的关键组成部分。

测量300毫米玻璃和硅晶片的平面度，厚度和厚度变化的能力对于成功集成3DIC组件非常重要。 传统的接触式探头或传统的干涉测量系统太慢，或者对于较大的视野而言没有必要的精度。 Tropel®FlatMaster®MSP-300（平面度测量仪）是一种****，可为300毫米玻璃和硅晶片提供快速，准确的测量。 在几秒钟内，以亚微米的精度收集了超过300万个数据点，从而能够表征整个表面的总厚度和平坦度

测量多种不同指标：
▶厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/ 压力/翘曲度
/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓。
完整的分析系统：
▶三维/ 拓扑/合格率/分布/二维环形和半径
切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度;
▶实现自动、 快速、准确、稳定且灵活的测量

技术参数：
   ▪    重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
   ▪    分辨率：5nm （0.2μ″）
   ▪    可测量工件尺寸：5mm-300mm
   ▪    动态测量范围：>100um
   ▪    测量数据点：230,000
   ▪    测量时间：5秒
   ▪    电源：～220V 50Hz