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▶实现单个或多个平面的光学非接触一次性测量;
▶适用多种类型材料:半导体,金属,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料;
▶适用多种类型晶片:硅/蓝宝石/碳化硅/**化镓/石英/锗/铌酸锂;
▶适用多种类型表面:研磨表面,抛光面,超光滑面;
平面度仪测量多种不同指标:
▶厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓;
完整的分析系统:
▶三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度
美国康宁Corning Tropel Flat Master平面度仪也称为平整度仪、平坦度仪,为精密部件的制造商提供了业界**的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。康宁Corning Tropel Flat Master平面度仪能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。可以实现自动、快速、准确、稳定的测量,超过20年的工业应用,几百台的装机量。Flatmaster 100平面度仪提供了五种纳米级的解析度和高达50纳米的标准精度,能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型、半径和其他表面参数进行精密测量。
平面度仪可测量技术参数:
精度 | 50nm (2.0μ″) |
重复性 | 15 nm(0.6μ″)(1 sigma) |
分辨率 | 5nm (0.2μ″) |
可测量工件尺寸 | 5mm-100mm |
动态测量范围 | >100um |
测量数据点 | 230,000 |
测量时间 | 5秒 |
电源 | ~220V 50Hz |
笃挚仪器(上海)有限公司拥有源自美国、英国、德国等多地区的合作伙伴,凭借种类齐全的产品资源和服务,涵盖光学仪器、测量仪器、无损检测、实验仪器、分析仪器、量具量仪等各类检测设备,努力为客户解决日新月异的测量分析技术挑战,共同提供定制化精密测量和性能分析系统解决方案,有效推动企业实现既定目标。
笃挚仪器(上海)有限公司致力于把欧洲,亚洲高科技测试仪器在国内推广与应用,与国外较有名仪器仪表生产厂商有着广泛的技术与销售合作的良好基础、公司自成立以来,经全体员工的不懈努力和不断创新,在短短的数年间企业信誉在广大客户中受到*,发展成为仪器仪表行业的先进单位。