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美国康宁Corning Tropel FlatMaster 200平面度测量系统也称为平面度仪、平整度仪、 平坦度仪 ,为精密部件的制造商提供了业界*先的平面度及表面形态测量。通过非接触式光学测量技术能在很短的时间内记录下整个表面的数据。Flatmaster 200平面度仪提供了五种纳米级的解析度和高达50纳米的标准精度,能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型、半径和其他表面参数进行精密测量。美国TROPEL FlatMaster 200平面度测量系统/平面度仪/平整度仪/平坦度仪基于160多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物应用光学等材料科学和制程艺领域的知识,Flat Master平整度仪为精密部件的制造商提供了业界*先的表面形态测量。能够对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。
测量多种不同指标:
▶厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/ 压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓。
完整的分析系统:
▶三维/ 拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度;
▶实现自动、 快速、准确、稳定且灵活的测量
▶无接触和无损伤测量
▶适用多种类型材料:半导体,金属,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
▶适用多种类型晶片:硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂
▶适用多种类型表面:研磨表面,抛光面,超光滑面
精度 | 50nm (2.0μ″) |
重复性 | 15 nm(0.6μ″)(1 sigma) |
分辨率 | 5nm (0.2μ″ |
可测量工件尺寸 | 5mm-200mm |
动态测量范围 | >100um |
测量数据点 | 230,000 |
测量时间 | 5秒 |
电源 | ~220V 50Hz |
标准测量 | 球面半径.平面度、线轮廓、表面粗糙度、 |