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GFM/GFC 气体质量流量计质量流量控制器
量程达1000L/min，可跟踪的NIST证书
GFM/GFC 气体质量流量计质量流量控制器
GFM气体质量流量计 GFC气体质量流量控制器 GFT流量累计器
流量比率不受温度和压力变化的影响
高精度和高重复性
3位数字的液晶显示
包括一份NIST跟踪记录证书
可与GFT流量累计器一起用于测定累计流量
GFC能控制流量比率，设置点通过现场电位器
或通过一个远程的0到5VDC或4到20mA
模拟信号来进行调整。
流量范围 | GFM流量计 | GFC流量控制器 | ||
铝 | 不锈钢 | 铝 | 不锈钢 | |
0-10 SCCM | GFM-S1101 | GFM-S2101 | GFC-S1101 | GFC-S2101 |
0-20 SCCM | GFM-S1102 | GFM-S2102 | GFC-S1102 | GFC-S2102 |
0-50 SCCM | GFM-S1103 | GFM-S2103 | GFC-S1103 | GFC-S2103 |
0-100 SCCM | GFM-S1104 | GFM-S2104 | GFC-S1104 | GFC-S2104 |
0-200 SCCM | GFM-S1105 | GFM-S2105 | GFC-S1105 | GFC-S2105 |
0-500 SCCM | GFM-S1106 | GFM-S2106 | GFC-S1106 | GFC-S2106 |
0-1 L/min | GFM-S1107 | GFM-S2107 | GFC-S1107 | GFC-S2107 |
0-2 L/min | GFM-S1108 | GFM-S2108 | GFC-S1108 | GFC-S2108 |
0-5 L/min | GFM-S1109 | GFM-S2109 | GFC-S1109 | GFC-S2109 |
0-15 L/min | GFM-S1111 | GFM-S2111 | GFC-S1111 | GFC-S2111 |
0-30 L/min | GFM-S1131 | GFM-S2131 | GFC-S1131 | GFC-S2131 |
0-50 L/min | GFM-S1133 | GFM-S2133 | GFC-S1133 | GFC-S2133 |
0-100 L/min | GFM-S1142 | GFM-S2142 | GFC-S1142 | GFC-S2142 |
0-200 L/min | GFM-S1143 | GFM-S2143 | GFC-S1143 | GFC-S2143 |
0-500 L/min | GFM-S1144 | GFM-S2144 | GFC-S1144 | GFC-S2144 |
0-1000L/min | GFM-S1145 | GFM-S2145 | GFC-S1145 | GFC-S2145 |
量程是相当于氮气在21°C@ 760 毫米汞柱的流量
规格
介 质：与接液部件兼容的清洁气体
接液材质： GFM/GFC-S1XXX:
铝, 铜,316不锈钢 和Viton® O型圈;
GFM/GFC-S2XXX:
316不锈钢 和Viton® O型圈
精 度： 满量程时±1.5%包括线性以上
在5-25°C和0.35-4bar条件下
重 复 性： 满量程的±0.5%
反应时间： 实际流量的±2%以内是2秒
输 出： 线性0-5VDC和4-20mA
zui大微粒尺寸： 5微米
工作温度： 32-122°F (0-50°C)
电 源： ±12VDC
过程连接： 流速≤50L/m卡套接头是1/4″；
100和200L/m是3/8″；
500L/m是1/2″； 1000L/m是3/4″
压力范围： 500psig(34.5bar)
泄 漏 率： 氦气的1 x 10-7 sccs
显 示 器： 可90°倾斜，3-1/2数字
认 证： CE
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