适用于高温的质量流量控制器 SEC-2000 系列

日本HORIBA高温应用的质量流量控制器

概要

可以在高温环境中使用的SEC-8000/2000系列，适用于超洁净的气体供给，以及在分析ppt级别下的超微量气体的场合，在半导体、化合物半导体制程之外也有各种各样的用途。

特征

· 搭载热感阀

· 作为*的TEOS气化供给系统LSC系列中标准的搭载模块

产品相关图及其它

适用于高温的质量流量控制器 SEC-2000 系列

日本HORIBA高温应用的质量流量控制器

概要

可以在高温环境中使用的SEC-8000/2000系列，适用于超洁净的气体供给，以及在分析ppt级别下的超微量气体的场合，在半导体、化合物半导体制程之外也有各种各样的用途。

特征

· 搭载热感阀

· 作为*的TEOS气化供给系统LSC系列中标准的搭载模块

产品相关图及其它

适用于高温的质量流量控制器 SEC-2000 系列

概要

可以在高温环境中使用的SEC-8000/2000系列，适用于超洁净的气体供给，以及在分析ppt级别下的超微量气体的场合，在半导体、化合物半导体制程之外也有各种各样的用途。

特征

· 搭载热感阀

· 作为*的TEOS气化供给系统LSC系列中标准的搭载模块

适用于高温的质量流量控制器 SEC-2000 系列

概要

可以在高温环境中使用的SEC-8000/2000系列，适用于超洁净的气体供给，以及在分析ppt级别下的超微量气体的场合，在半导体、化合物半导体制程之外也有各种各样的用途。

特征

· 搭载热感阀

· 作为*的TEOS气化供给系统LSC系列中标准的搭载模块