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日本HORIBA METRON气体质量流量控制器流量计
日本HORIBA METRON气体质量流量控制器流量计
| 编号 | 项目 | S48 32/HMT | |
| 1 | 流量规格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min | |
| 2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 | |
| 3 | 调节阀静止状态 | 常闭 | |
| 4 | 安装角度 | 任意 | |
| 5 | 流量控制范围 | 2%～100% | |
| 6 | 流量测量范围 | 0～100% | |
| 7 | 响应时间 | 2s（T98，设定值的±2% F.S.） | |
| 8 | 工作环境温度 | 5℃～50℃ | |
| 9 | 精度保证温度 | 15℃～35℃ | |
| 10 | 精度 | ±1.0%F.S. | |
| 11 | 线性精度 | ±0.5%F.S. | |
| 12 | 重复性 | ±0.2%F.S. | |
| 13 | 工作压差 | ～5L/min (50～300)kPa(D) 5L/min～10L/min (100～300)kPa(D) 30L/min～50L/min (150～300)kPa(D) | |
| 14 | 耐压 | 3MPa | |
| 15 | 泄漏率 | 1×10-8 Pa•m3/s （He） | |
| 16 | 接触气体材料 | 316L,PTFE,Viton氟橡胶 | |
| 17 | 管路接头 | Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″ | |
| 18 | 供电电源 | ±15VDC(±5%) +15V＜100mA,-15V＜150mA | +24VDC(宽电压+11～+25V), ＜250mA(+24Vdc供电时) |
| 19 | 设定信号 | (0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ | 4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） |
| 20 | 流量输出信号 | (0～5)VDC 负载能力≤3mA | |
| 21 | 电气接头 | D-SUB15,D-SUB9 | |
| 22 | 重量(kg) | 0.9 | |
S48 32/HMT 安装尺寸图：
