一、奥林巴斯Olympus半导体显微镜MX63/63L应用介绍：  

（1）奥林巴斯（OlympusCorporation），创立于1919年。1920年在日本成功地将显微镜商品化，在癌症防治领域起着极其重要作用的内窥镜，1950年由奥林巴斯在世界上*开发。  

（2）迄今为止，奥林巴斯株式会社已成为日本乃至世界精密、光学技术的代表企业之一，事业领域包括医疗、影像、生命科学产业三大业务领域。  

二、应用原理：  

（1）Olympus奥林巴斯半导体显微镜MX63/63L系统支持检测尺寸达300毫米的晶圆、平板显示器、印刷电路板以及其他样品的质量。这些符合人体工学设计的人性化系统采用模块化设计，可在各种应用中实现Z佳观察条件。结合奥林巴斯Stream图像分析软件使用时，从观察到生成报告的整个检测流程更简洁直观。  

（2）Olympus半导体显微镜MX63/63L满足电子行业需求  

（3）功能性为满足电子行业的人体工学和安全性要求而设计的附加功能以增强分析能力  

（4）人性化简洁的显微镜设置使用户调整和再调用系统配置变得更为轻松。  

（5）*的成像技术我们成熟可靠的光学器件和优良的成像技术可获得清晰图像，并完成可靠检测。  

（6）模块化用户可通过选择适合其应用的模块进行系统定制。  

三、*的分析工具：  

（1）奥林巴斯Olympus半导体显微镜MX63/63L系列的各种观察功能可生成清晰的图像，让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。  

（2）全新照明技术以及奥林巴斯Stream图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和存档检测结  

果提供更多选择。  

（3）从不可见到可见：MIX观察与采集  

（4）通过暗场与明场、荧光或偏光等其他观察方法结合使用，MIX观察技术能够获得特殊的观察图像。MIX观察技术可让用户发现用传统显微镜难以观察的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕，有助于观察样品的表面纹理。