OLYMPUS/奥林巴斯 品牌
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多年的显微镜开发经验成就了优异的观察性能
奥林巴斯STM7工具测量显微镜系列采用了当前*光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。因此，观察到的图像具有高分辨率和高对比度，此外，像差也被*消除，以确保实现对微小细节的高精度测量。
作为高度测量的先锋，继续提供简单易操作的高精度3轴测量
共聚焦自动对焦系统光路 | 随着现代制造技术日益小型化和精密化，高精度测量也日趋重要——不仅是XY轴平面的测量，而且Z轴方向的高精度测量也成为必须。奥林巴斯成功开发了测量显微镜用采用主动反射、共聚焦方法的自动聚焦系统的公司，以此响应了这种与日俱增的需求。 |
严格的可追溯系统确保品质可靠
奥林巴斯通过一个严格的可追溯系统控制测量显微镜的***度。并且在安装系统时奥林巴斯也提供了可追溯的校准服务。
测量显微镜跟踪系统
STM7测量显微镜设计注重易用性
提供载物台以适合眼下的样本大小
[常见问题]
短测量行程无法满足较大样品的测量需求。
目前为止，大型载物台在X轴方向提供了足够的测量行程，但是Y轴的行程仍然较小。在测量过程中需要通过旋转样品来补偿比X轴覆盖范围要短的Y轴行程，这样的做法费事费时，效率不高。
由于可测量的范围窄，无法将数量较多的样品排列在载物台上，以实现一次性同时测量。
[STM7解决方案]
共有四种*的正方形测量行程的载物台可供选用，分别为：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm和300 mm×300 mm。不管是大的样品还是小的样品，总有一款载物台会适合您要测量的样品。
Ÿ 采用离合器系统可以在粗调和微调之间实现快速切换。具备了这种切换功能之后，载物台也可以沿着X轴和Y轴方向迅速移动，并且可以在XY平面上自由穿梭。
Ÿ 300 mm长的方形载物台在X轴和Y轴方向上可以提供相同的测量行程，这意味着可以不旋转样品就实现大型样品的全部测量，比如300 mm的晶圆和印刷电路板。更多详细内容请咨询上海富莱光学、奥巴仪器。
使用相同的显微镜进行低倍率和高倍率观察
[常见问题]
大部分传统的测量显微镜只可以测量物镜或金相物镜，无法同时满足多种观察要求。
[STM7解决方案]
奥林巴斯STM7工具测量显微镜可以通过安装一个测量物镜适配器使用测量物镜，而更换为物镜转盘后，便可使用金相物镜。这意味着， STM7将金相光学系统和测量光学系统同时结合在一台测量显微镜中。通过这种方式，无论是测量大型样品还是精细样品，或是表面高度差异大的样品，STM7系列都可以对应并协助用户选择*的观察方法。
测量物镜
由于测量物镜具有非常长的工作距离，因此可以在对表面起伏较大的样品进行聚焦的时候，无需担心物镜与样品之间发生接触。此外，借助测量物镜的低倍率能力，可以一次观察到较大的视场。
金相物镜
可以得到和光学显微镜相媲美的高倍率和高分辨率观察能力。更重要的是，在明场观察之外还可以对应暗场，偏光和微分干涉观察。
奥林巴斯Olympus STM7工业测量显微镜规格
| 小型手动镜架 | 小型电动镜架 | 中型手动镜架 | 中型电动镜架 | 大型手动镜架 | 大型镜架 | ||
显微镜 |
| 垂直移动范围 | 175 mm | 145 mm | ||||
zui大的测量高度 | 120 mm（配备测量物镜） | 90 mm（配备测量物镜） | ||||||
Z轴测量分辨率 | 0.1 μm | |||||||
Z轴驱动方法 | 手动同轴 | 电马达驱动： | 手动同轴 | 电马达驱动： | 手动同轴 | 电马达驱动： | ||
照明 | LED照明 | 白色：用于反射光照明，绿色：用于透射光照明 | ||||||
镜筒 | 正像单目镜筒，正像三目镜筒(100:0/0:100) | |||||||
物镜 | 测量显微镜用 | MM6-OB系列 | ||||||
金相显微镜用 | MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列 | |||||||
目镜 | MM6-OCC10X (带十字线, FN 22), MM6-O C10X (FN 22) | |||||||
载物台 | 测量范围 | STM7-CS50: | STM7-CS200: | STM7-CS300: | ||||
测量***度 | STM7-CS50: (3+L/50) μm | (3+4L/200) μm | (3+6L/200) μm | |||||
***度保证重量 | STM7-CS50: 5 kg | 10 kg | 15 kg | |||||
计数器显示 | 轴数 | 3轴 | ||||||
单位 | 毫米/微米/英寸/密耳 | |||||||
zui小分辨率 | 0.1 μm | |||||||
外形尺寸（宽×长×高）（mm） | 466 x 583 | 466 x 583 x 811 | 606 x 762 x 651 | 606 x 762 x 811 | 804 x 1024 x 686 | 804 x 1024 x 844 | ||
重量 | 约84 kg | 约92 kg | 约152 kg | 约159 kg | 约277 kg | 约284 kg | ||
额定功率 | 100-120/220- | 100-120/220- | 100-120/220- | 100-120/220- | 100-120/220- | 100-120/220- | ||
*1 使用大型镜架STM7-LF/STM7-LFA时，可以将高度为100 mm或以下的样品放置在光轴后方180 mm或以上距离的地方。
物镜工作距离
倍率 | 1x | 3x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x | ||
物镜 | |||||||||
测量物镜 | MM6-OB系列 | 59.6 | 76.8 | 65.4 | 50.5 | - | - | - | |
金相物镜 | MPLFLN系列 | 明场 | - | - | 20.0 | 11.0 | 3.1 | 1.0 | 1.0 |
LMPLFLN系列 | 长工作距离 | - | - | 22.5 | 21.0 | 12.0 | 10.6 | 3.4 | |
MPLFLN-BD系列 | 明场/暗场 | - | - | 12.0 | 6.5 | 3.0 | 1.0 | 1.0 | |
LMPLFLN-BD系列 | 明场/暗场 | ||||||||
