DektakXT台阶仪,表面轮廓仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新的设计，可以提供更高的重复性和分辨率，测量重复性可以达到5埃。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的，更加巩固了其行业地位。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT一定能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术突破，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。

DektakXT台阶仪,表面轮廓仪设计

探针系统的评价体系受三个因素影响：能否重复测量，数据采集和分析速度快慢，操作的难易程度。这些因素直接影响了数据的质量和操作效率。DektakXT利用全新结构和和软件来实现可重复、时间短、易操作这三个必要因素，达到仪器使用效果。

强化操作的可重复性 Delivering Repeatable Measurements

DektakXT在设计上的几个提高，使其在测量台阶高度重复性方面具有优异的表现，台阶高度重复性可以到达5?.使用single-arch结构比原先的悬臂梁设计更坚硬持久不易弯曲损坏，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。同时，Bruker还对仪器的智能化电子器件进行完善，提高其稳定性，降低温度变化对它的影响，并采用*进的数据处理器。在控制器电路中使用这些灵敏的电子元器件,会把可能引起误差的噪音降到很低，DektakXT的系统因此可以更稳定可靠的实现对高度小于10nm的台阶的扫描。Single-arch结构和智能器件的联用，大大降低了扫描台的噪音，增强了稳定性，使其成为一个有竞争力的台阶仪（表面轮廓仪）。

提高数据采集和分析速度 SpeedingUp Collectionand Analysis

利用*的直接扫描平台，DektakXT通过减少从得到原始数据到扣除背底噪音所需要的时间，来提高扫描效率。这一改进，大大提高了大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描的扫描速度。在保证质量和重复性的前提下，可以将数据采集处理的速度提高40%。另外，DektakXT采用Bruker 64-Bit数据采集分析同步操作系统Vision64，它可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描时的数据分析处理效率。Vision64还具有有效直观的用户界面，简化了实验操作设置，可以自动完成多扫描模式，使很多枯燥繁复的实验操作变得更快速简洁。

完善的操作和分析系统 PerfectingOperationand Analysis

与DektakXT的创新性设计相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析软件。Vision64提供了操作上实用简洁的用户界面，具备智能结构，可视化的使用流程，以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求，快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。

DektakXT 技术参数

—台阶高度重复性5?

—Single-arch设计大大提高了扫描稳定性

—前置敏化器件，降低了噪音对测量的干扰

—新的硬件配置使数据采集能力提高了40%

—64-bit，这一Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度提高了十倍。

功能强大，操作简易

—直观的Vision64用户界面操作流程简便易行

—针尖自动校准系统让用户更换针尖不再是难事

台阶仪（表面轮廓仪）领域无可撼动的地位

—布鲁克的台阶仪，体积轻巧，功能强大。

—单传感器设计提供了单一平面上低作用力和宽扫描范围

应用领域：MEMS、太阳能、芯片、光刻、刻蚀、镀膜、LED、微电子、触摸屏等领域。

我们的部分客户名单：清华大学微电子系、清华大学微电子所、清华大学电子系等121家高校及研究所，上海神舟新能源有限公司、上海交大泰阳绿色能源有限公司、福建钧石能源有限公司等几百家工业公司。

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