Bruker/布鲁克 品牌
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Contour 高精度三维形貌计量光学轮廓仪融合了高级表征、可定制选项和易用性,可以提供快速、准确和可重复的非接触式三维表面计量方法。
它的操作和分析软件系统提供了更易于使用的界面和简洁的功能,可以访问多种预编程滤镜和分析工具,用于精密加工的表面,薄膜,半导体,眼科,医疗设备,MEMS和摩擦学等领域的测量分析,可用于表面粗糙度,RDLxian进封装工艺厚度等测试。
满足计量要求,具有很好的Z轴分辨率和准确性,并在更小的占地面积内提供了布鲁克白光干涉仪(WLl)落地式型号所具备的业界认可的优点。它对反射率从0.05%到100 %的各种表面都非常易于测量。
Contour 高精度三维形貌计量光学轮廓仪拥有三款型号,分别是GT100、GT200、GT500,它们的技术参数如下:
型号 | GT100 | GT200 | GT500 |
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样品台区别 | 手动样品台 | 自动样品台 | 高级自动化样品台 |
技术参数 | 扫描量程:≤10mm 垂直分辨率:<0.01nm 水平分辨率:0.38μm min(Sparrow criterion),0.13μm(with AcuityXR) 台阶高度准确性:<0.75% 台阶高度重复性:<0.1% 1 sigma repeatability 扫描速度:37μm/sec(with standard camera) 样品倾角:≤40°(shiny surfaces),≤87°(rough surfaces) 样品高度:≤100mm(4 in.) |