0.1 至 1 mm/s

175 mm, 350 mm

0.2 mm/s 至 4 mm/s

25

200 mm

Z 方向，相对探针针头：
0.38 µm（350 mm 测杆）/ 0.19 µm（175 mm 测杆）

Z 方向，相对测量系统：
0.04 µm

0.2 mm

在平滑表面上，取决于偏差：
后缘高至 88°，前缘高至 77°

X 方向返回速度：0.2 至 8 mm/s
Z 方向：0.2 至 10 mm/s

< 1 µm（200 mm 以上）

探针法

R 测头，MFW 250
光学测头 Focodyn*、LS 1*、LS 10*
（*仅结合 PGK 或 GD 120 CNC 驱动装置）

(in Z) 50 mm
MFW 250: ±25 µm，±250 µm，（zui高 ±750 µm）；±1000 µin，±10,000 µin（zui高 ±30,000 µm）

自动；0.56 mm；1.75 mm；5.6 mm；17.5 mm，56 mm，
（.022 / .070 / .224 / .700 / 2.240 英寸），
测量至挡块，可变

1 至 50（默认：5）

1 mN 至 120 mN 左右
（可在 MarSurf XC 20 中设置）