德国Freiberg Instruments 电阻率测试仪（RESmap ）

产品特点

德国Freiberg Instruments 电阻率测试仪（RESmap ）在对低电阻率晶锭和晶圆进行非接触式测量方式上拥有非常重要的重复性 Si | Ge | 化合物半导体 | 宽带隙 | 材料 | 金属 | 导电 | 氧化物和氮化物[ Ge | Si | SiC | InP | GaAs | GaN | InAs以及更多]

详细介绍

产品介绍：

在对低电阻率晶锭和晶圆进行非接触式测量方式上拥有非常重要的重复性Si | Ge | 化合物半导体 | 宽带隙 | 材料 | 金属 | 导电 | 氧化物和氮化物[ Ge | Si | SiC | InP | GaAs | GaN | InAs以及更多]     

电涡流传感器的测量原理

中心处可实现较大的准确性和精确度

4H-SiC晶圆整个生长面区域的电阻率变化测量

硅晶圆电阻率变化测量 — 面扫描、分布和线扫描   

特征 ：

更多技术规格和配置选项:  

用户友好且优良的操作软件：         

◇  电阻率测量配方；        

◇  导出/导入功能和原始数据访问；        

◇  多级用户账户管理；

◇  所有执行的测量概览；

◇  绘图选项（线、十字、星、完整地图、地形、用户定义图案）；

◇  分析功能包；统计、方差分析、温度校正函数和数据库；

◇  远程访问；基于互联网的系统允许在世界任何地方进行远程操作和技术支持；