MDPlinescan在线少子寿命测试仪

产品特点

灵活的OEM少子寿命测试仪器，用于各种不同样品的少子寿命测量，从单晶硅砖到多晶硅砖，从生长的硅片到不同层或金属化的硅片的过程控制。标准的软件接口，便于连接到许多处理或自动化系统。

详细介绍

产品介绍：

在众多的少子寿命测量方法中，MDP（微波检测光电导率）采用改进的少子寿命检测技术，是微波检测光电导衰减法检测仪中常用的仪器之一，少子寿命测试仪原理从载流子输运原理出发，建立广义速率方程和偏微分方程系统。拥有优良的灵敏度和分辨率，很大程度提升在线检测的速度和质量，快速出具少子寿命测试的实验报告。

MDPlinescan被设计成一个易于集成的OEM设备，可以集成到各种自动化检测线。关键的是在传送过程中进行少子寿命扫描。样品通常由测量头下面的传送带或机器人系统携带。应用实例包括从晶砖到晶圆检测，单晶少子寿命测试、多晶少子寿命测试，每块晶圆的测量速度小于一秒。电池生产线上的来料质量检查是经典的通用案例，也用于钝化和扩散后的工艺质量检查，还有许多其他特殊的应用的可能性。易于集成，只需要以太网连接和电源。
 

MDPlinescan W       

包括一个额外的电阻率测量选项。        

优点：         

◇  在µ-PCD或稳态激励条件下线扫描少数载流子寿命和电阻率是这个小型设备的重要功能；        

◇  OEM设备可以集成到多晶或单晶硅片的生产线上，在不同的制备阶段，直至器件、砖块或晶锭。        

◇  小巧的尺寸和标准的自动化接口使其易于集成。重 点是测量结果的长期可靠性和精确性。  

示范性线状扫描图

细节：                  

◇  允许单晶圆片调查                 

◇  不同的晶圆级有不同的配方        

◇  监控物料、工艺质量和稳定性     

技术规格: