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在高分辨率、受好评的FineSAT Ⅲ的基础上，进一步提高了分辨率。
为提高分辨率，提高了以往使用的超声波频率。 在高频化方面，超声波在传播介质中的衰减越来越大，信噪比降低的弊端变大，所以在检查用途方面，300MHz前后是实用的*高频率。
300MHz频率的超声波，在*佳条件下，仅限于5μm左右宽度的线型识别，对于正在应用于*新LSI封装的TSV、Cu柱等微细结构体的检查时，可能无法适用。
FineSAT HR开发了新型电路、提高了分辨率，成功突破了这类超声波检查装置的ji限。
| FS100ⅢHR | FS200ⅢHR | FS300ⅢHR | |
| 支持探头频率(MHz) | 5～75 | 5～140 | 5～300 |
