FS LINE采用大型扫描仪和大型水槽，可应对FineSAT系列装置不能应对的大型对象物（如FPD、面向太阳能电池的溅镀靶材、陶瓷零部件等不断大型化的材料、零部件）的检查。
除了单焦点探头用的FS LINE以外，还准备了同时使用单探头和阵列探头，可以缩短大型对象物的检查时间的FS LINE Hybrid。
同时，作为选购件，还准备了用于检查筒状/圆柱状对象物的表面的旋转台。关于水槽和扫描仪尺寸，也请随时咨询。

特点、规格
FS LINE能进行高精度的测定，还拥有基于FineSAT的使用方便性，並重视安全性。
FS LINE Hybrid在低频范围的阵列探头上实现了高阻尼化。 这样，可同时进行靶材和背板的接合检查和靶材内部的孔隙检查。
而且，单焦点探头难以检查的边缘斜面用斜角电子扫描也可进行检查。

扫描仪有效扫描范围

有效扫描范围：750×800；1,550×2,000；4,000×2,000（単位：mm）