简介：

GCIB-10S 离子源系统是一种高性能10千伏气体团簇离子束，用于快速、低损伤溅射和更高质量的表面分析。

GCIB 10S提供了大量有用的功能，包括实时集群大小测量和内置样本电流成像系统，以帮助您充分利用实验。 

GCIB-10S 离子源系统具有完整的泵送系统和单独软件，是一种栓接式升级，将集束束溅射的力量引入现有的真空仪器，如XPS、SEM和SIMS。

主要参数：

特点:  

◇  10kV氩团簇离子源，可选择Ar1至>Ar3000的团簇；

◇  实时集群测量和调整；

◇  采样电流成像；

◇  光斑尺寸大，扫描范围宽，可均匀去除材料；

◇  易于安装在许多高真空仪器上；

◇  单独软件和基于web套接字的API，用于与第三方软件集成

应用技术： 

GCIB 10S可去除不定碳和其他表面污染，而不会损坏基材， 同时还可对有机物和聚合物等软材料进行无损伤深度剖析。

右图显示了分别使用Ar1和Ar2000蚀刻原始PET表面前后的C 1s 峰值。数据清楚地显示了单原子Ar1束（红色）造成的化学损伤，而光谱在暴露于Ar2000束（蓝色）后几乎保持不变