测量标准

线性膨胀系数

Zerodur玻璃陶瓷上的DIADUR相位光栅；光栅周期0.512微米
α THERM =（0±0.1）×10 -6 ķ -1

精度等级

±0.5 µm（可根据要求提供更高的精度等级）

基准错误

≤ ±0.075 µm / 5毫米

测量长度ML * ，单位mm

70 120 150 170 220 270

参考标记

没有

接口

 1 V PP

综合插补

信号周期

–

0.128微米

截止频率–3 dB

≥1兆赫

扫描频率*

边缘分离a

–

移动速度

≤ 7.6米/分钟

插补误差

位置噪声RMS

±0.01纳米

0.06 nm（1 MHz 1））

激光

扫描头和天平安装： 1级

未安装扫描头： 3B级

使用的激光二极管： 3B级

电气连接

0.5 m电缆至接口电子设备（APE），
可连接至APE的单独适配器电缆（1 m / 3 m / 6 m / 9 m）

电缆长度

参见接口说明，但≤30 m（使用海德汉电缆）

电源供应

直流5 V±0.25 V

目前的消费

<190毫安

振动55 Hz至2000 Hz

震动11毫秒

≤4 m / s 2（EN 60068-2-6）

≤50 m / s 2（EN 60068-2-27）

工作温度

0°C至40°C

大众 扫描头

接口电子

线性刻度

连接线

150克

100克

ML70毫米： 260克，ML ≥ 150毫米： 700克

38克/平方米

* 订购时请选择

1） 后续电子设备的–3 dB截止频率