SONIX™公司是世界500强丹纳赫集团(NYSE: DHR)下的全资子公司，是超声波扫描检测仪和无损检测设备的制造商。 自1986年成立以来，SONIX™在无损检测领域中不断改革创新，是*家基于微机平台，提供全数字化成像方案的公司。 SONIX？ 设备被广泛应用于各种材料的无损检测，包括半导体，汽车零件和其他先进元件。 拥有独立开发的软件，硬件和**技术，这么多年来通过和客户的不断合作，实现了SAM技术的持续改进。

AutoWafer Pro™: Ultrasonic Equipment for NDT of Bonded Wafers

SONIX AutoWafer Pro™ 是专为全自动晶圆检测设计的机型，主要应用在Bond wafer，MEMS 内部空洞、离层检测，TSV量测方面。
● 使用于200和300mm晶圆
● 符合一级净化间标准● Cassette装载，全自动检测，支持FOUP或FOSB机械臂
● 支持200mm & 300mm SECS/GEM协议
● KLARF输出文件