iH1800爱德华干式泵维修

iH1800 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59040946

技术数据

峰值速度                 1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

极限真空                 1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型轴封氮流量                 4 slm

进气口连接                 ISO160

出口连接                 NW40

15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1

                                4 l min-1

重量                         502 kg

极限功率输入                 4.1 kW

电机额定功率                 7.0 kW

油容量                         1.6 l

 Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
 
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

东莞市鸿鑫真空设备有限公司专业维修爱德华干泵，爱德华半导体干泵，莱宝干泵，爱发科干泵，汉钟干泵，卡西雅玛干泵等干泵维修

东莞市鸿鑫真空设备有限公司集生产销售、安装设计、维修保养真空设备、真空氦检漏仪及通用机械设备、精密机械及自动化设备等产品的企业。公司主要销售及维修真空泵品牌有：鸿鑫系列单双级真空泵、鸿鑫螺杆及罗茨真空泵、德国LEYB0LD莱宝真空泵、德国BUSCH普旭真空泵、德国RIETSCHLE里其乐真空泵、德国BECKER贝克真空泵、英国EDWARDS爱德华真空泵、日本ULVAC爱发科真空泵、德PFEIFFER普发真空泵、日本ORION好利旺真空泵、ATLAS阿*真空泵、美国AGILENT安捷伦真空泵等进口真空泵及真空系统。销售真空泵配件：真空泵油、油雾分离器、排气过滤器、叶片、碳精片、油过滤器、进气滤芯、空气总成、散热风扇、风扇叶、风扇罩、真空泵油管、油封、轴承、轴套、排气阀、逆止阀、气镇阀、视油镜、密封套件、联轴器、联轴器垫等配件材。                                                 同时公司还经营电子材料：厌氧胶、SMT贴片胶、底部填充胶、COB灌封胶、LED固晶胶、陶瓷线路板灌封胶等           

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