半导体PS2002/PS2202汉钟螺杆泵维修保养

PS系列螺杆真空泵

定螺距螺杆转子特点：

1、结构简单，故障率低，成本较低，易维修

2、高压段功耗相对低，适用于高负载应用场合

3、排气路径短，减少反应物沉积

适用一般真空镀膜、烤箱、热处理、太阳能产业、半导体面板业制程

PS系列螺杆真空泵型号：PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802

PD系列螺杆真空泵型号：PDF110,PD120,PD300,PD400,PD650,PD800,

高压段抽速快

能耗可降低30%以上

气冷马达机型可搭配自循环冷却系统，能使用在无冷却水的系统环境

可提供符合ATEX标准的产品

变螺距螺杆转子特点：

1，运行温度低，适用于要求泵体表面及排气温度低的场合。                2，运转功耗低，适用于轻负载应用场合，更节能。                        3，运行噪音更低，适用于运行噪音低的场合，如：贴合机，无尘室。

4，相同长度转子，抽气量更大。适用于大抽气量的真空需求。

真空压力：≤7.5*10-3 Torr

                 ≤0.01 mbar

                 ≤1 pa

汉钟PS系列、PD系列维修

维修步骤：

1、螺杆泵来料检验，真空度、运行时间、振动值、驱动器、电气参数。

2、全部拆卸，油污清洁，打磨。

3 、按“螺杆泵维修处理通知单”更换所必需的零件，如：轴承、轴套、套筒、密封圈、齿轮，以确保可靠的优质服务和泵浦使用寿命。

4、泵的平衡，利用平衡和分析设备，调试佳的状态，以减少噪音、振动，延长轴承寿命。

5、测试检查，参照原厂参数检测，结合客人实际要求与螺杆泵磨损

PMF半导体干净系列

用途：Semi conductor，Load lock，TFT-LCD，Touch Panel，Solar，Coating，Plasma Process，Drying Process，Degassing

PMF系列型号有PMF100，PMF120，PMF612

半导体PS2002/PS2202汉钟螺杆泵维修保养