汉钟PS602螺杆真空泵维修

PS系列螺杆真空泵

定螺距螺杆转子特点：

1、结构简单，故障率低，成本较低，易维修

2、高压段功耗相对低，适用于高负载应用场合

3、排气路径短，减少反应物沉积

适用一般真空镀膜、烤箱、热处理、太阳能产业、半导体面板业制程

PS系列螺杆真空泵型号：PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802

PD系列螺杆真空泵型号：PDF110,PD120,PD300,PD400,PD650,PD800,

高压段抽速快能耗可降低30%以上

气冷马达机型可搭配自循环冷却系统，能使用在无冷却水的系统环境

可提供符合ATEX标准的产品

变螺距螺杆转子特点：

1，运行温度低，适用于要求泵体表面及排气温度低的场合。                

2，运转功耗低，适用于轻负载应用场合，更节能。                        

3，运行噪音更低，适用于运行噪音低的场合，如：贴合机，无尘室。

4，相同长度转子，抽气量更大。适用于大抽气量的真空需求。

压力：≤7.5*10-3 Torr

                 ≤0.01 mbar

                 ≤1 pa

汉钟PS系列、PD系列维修

维修步骤：1、螺杆泵来料检验，真空度、运行时间、振动值、驱动器、电气参数。

2、全部拆卸，油污清洁，打磨。

3 、按“螺杆泵维修处理通知单”更换所必需的零件，如：轴承、轴套、套筒、密封圈、齿轮，以确保可靠的优质服务和泵浦使用寿命。

4、泵的平衡，利用平衡和分析设备，调试佳的状态，以减少噪音、振动，延长轴承寿命。

5、测试检查，参照原厂参数检测，结合客人实际要求与螺杆泵磨损

PMF半导体干净系列

用途：Semi conductor，Load lock，TFT-LCD，Touch Panel，Solar，Coating，Plasma Process，Drying Process，Degassing

PMF系列型号有PMF100，PMF120，PMF612

特点 Features

    低的电能消耗

          Lowest Power Consumption

    节能模式的应用降低整体功耗

    Idle saving mode applied to save total power Consumption

    体积小，重量轻

    Small size，light weight and easy installation

    节省了安装空间

    Saving space for installation site

    半导体干净制程的佳选择

    Best choice for semiconductor light processes

汉钟PS602螺杆真空泵维修